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日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵

日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵

簡要描述:◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內(nèi),因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
渦線管優(yōu)良的平衡性,降低了噪音和振動。

產(chǎn)品型號: DVS-321/631/DVT-300

所屬分類:真空泵

更新時間:2024-08-20

詳細(xì)說明:

 

日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵特性
◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內(nèi),因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
  渦線管優(yōu)良的平衡性,降低了噪音和振動。
◇無需日常換油
  由于不使用泵油,大幅減少了日常保養(yǎng)。
◇無需冷卻水
  由于是空冷構(gòu)造,安裝時真空泵只需接通電源就能工作,無需水冷管。
◇高效壓縮的渦線管節(jié)省了能源和運轉(zhuǎn)成本。
◇保養(yǎng)周期長
  為避免機(jī)械損耗,選用耐用材料,密封件確保能夠連續(xù)運轉(zhuǎn)。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵應(yīng)用
◇可用于半導(dǎo)體制造的負(fù)載鎖定室
◇電子顯微鏡的前級泵
◇干式真空的前級泵
◇真空干燥、冷凍干燥系統(tǒng)
◇排氣、真空注入系統(tǒng)
◇真空蒸溜、真空凝縮
◇測量器械
◇真空加固
◇真空涂層系統(tǒng)
◇電子杠桿工程、激光杠桿機(jī)

 

型 號

實際排氣速度(L/min.)

極限壓力

(Pa)

吸/排氣管徑

(mm)

重量

(kg)

外形尺寸

W×L×H(mm)

電機(jī)

極限蒸氣壓

(g/hr)

功率(W)

可選電壓(V)

 DVS-321

265/320

(50/60Hz)

1.5(當(dāng)選購件孔徑D1.03.0)

KF-25/KF-16

35

300×398×354

400

單相

100115.200230

2.0(當(dāng)選購件孔徑D1.02.3)

DVS-631

525/630

(50/60Hz)

1.0(當(dāng)選購件孔徑D1.52.5)

KF-40/KF-25

41

326×535×367

600

單相100/200.220

2.0(當(dāng)選購件孔徑D1.02.3)

44

326×586×367

三相200

DVT-300

300

6.7

KF-25/KF-16

26

257×273×509

400

單相100.200

三相200

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